ISBN/价格: | 7-111-15782-6:CNY26.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 微系统原理与技术/.傅建中,胡旭晓编著 |
出版发行项: | 北京:,机械工业出版社:,2005 |
载体形态项: | 223页:;+24cm |
提要文摘: | 本书系统阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点;全面介绍了微系统设计技术、微系统制造技术、微系统检测技术、微系统集成与控制技术和典型微系统——芯片实验室技术等。 |
并列题名: | Microsystems:Theory and Technology eng |
题名主题: | 微电机 |
中图分类: | TM38 |
个人名称等同: | 傅建中 编著 |
个人名称等同: | 胡旭晓 编著 |
记录来源: | CN SDL 20101221 |