书目详细信息
： 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-301-33905-3:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器/.陆学斌著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京大学出版社:,2023 |
| 载体形态项： | 160页:;+图:;+23cm |
| 提要文摘： | 本书共分5章,第1章介绍多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状,第2章介绍工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响,第3章研究多晶硅纳米薄膜的杨氏模量,第4章研究多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用,第5章介绍多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。 |
| 题名主题： | 多晶 纳米材料 薄膜 硅压力传感器 |
| 中图分类： | TP212 |
| 个人名称等同： | 陆学斌 著 |
| 记录来源： | CN 百万庄 20240525 |