书目详细信息
： 半导体制造过程的批间控制和性能监控
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-070817-5:CNY128.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体制造过程的批间控制和性能监控/.郑英，王妍，凌丹著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2023 |
| 载体形态项： | 243页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书基于当前半导体及类似行业制造过程中存在的问题, 介绍了多种改进的批间控制和容错控制算法, 以及在其控制下的性能评估和监控。第1章介绍半导体制造过程, 包括国内外研究现状和发展趋势。第2-4章介绍批间控制方法及各种衍生方法。第5-7章讨论机台故障对系统性能的影响, 提出多种批间容错控制算法, 采用T-S模糊模型来处理未知的随机度量时延, 并建立批次过程的补偿批间算法。第8-11章介绍批间控制器对制造过程的影响, 利用输入输出数据提出批间控制器的模型匹配因子, 得到建模质量指标。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 郑英 著 |
| 个人名称等同： | 王妍 著 |
| 个人名称等同： | 凌丹 著 |
| 记录来源： | CN BWZ 20250612 |