书目详细信息
： 电子束曝光微纳加工技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-5639-1300-9:CNY50.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 电子束曝光微纳加工技术/.顾文琪主编/.顾文琪 ... [等] 著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京工业大学出版社:,2004 |
| 载体形态项： | 310页:;+图, 肖像:;+26cm |
| 丛编项： | 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 提要文摘： | 本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景, 同时详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标等。 |
| 题名主题： | 电子束 曝光 研究 |
| 题名主题： | 电子束 |
| 题名主题： | 曝光 |
| 中图分类： | TL501 |
| 个人名称等同： | 顾文琪 主编 |
| 个人名称次要： | 王理明 著 |
| 记录来源： | CN SDL |